比較儀利用相對法進行測量的長度測量工具(圖:比較儀),主要由
測微儀和比較儀座組成。測量時,先用量塊研合組成與被測基本尺寸相等的量塊組,再用此量塊組使
測微儀指針對零,然后換上被測工件,測微儀指針指示的即為被測尺寸的偏差值。按測微儀所采用的放大原理,比較儀可分為機械式比較儀、光學比較儀和電學比較儀3種
機械式比較儀 和百分表和千分表、杠桿齒輪式測微儀或扭簧測微儀等機械式指示表作為放大、指示部件。杠桿齒輪式測微儀的工作原理與百分表和千分表相似。但第1級放大機構是杠桿,其分度值通常為1微米。扭簧測微儀是一種具有無機械摩擦放大機構的指示表(圖 [扭簧測微儀工作原理].它的主要放大元件是一根從中間起一端向右扭曲,另一端向左扭曲的金屬薄片(寬度為0.1毫米左右,厚度為0.005毫米左右),稱為扭簧絲。在它的中間粘有一根直徑約為0.06毫米的空心玻璃絲做的指針。當測桿上下移動時,可動支架把上下位移轉換為左右位移,使扭簧絲縮短或伸長,并帶動指針轉一個角度,從表盤上即可讀出測桿的位移量。扭簧測微儀的靈敏度很高,常見的分度值有1微米、0.5微米、0.2微米和0.1微米幾種,_可達0.02微米。示值范圍一般為±50個分度值。機械式比較儀常用在車間和計量室測量工件外徑和厚度等。
光學比較儀 利用光學測微儀作為放大指示部件。常見的有立式、臥式和影屏式 3種。①立式光學比較儀:又稱立式光學計,圖3[光學測微儀的光學系統(tǒng)]為光學測微儀的光學系統(tǒng)。它是按自準直原理(見自準直儀)設計的。分劃板位于物鏡焦平面上,平面反射鏡按杠桿原理設置。當測桿上下移動時,平面反射鏡繞支點轉動一個很小角度,由平面反射鏡反射回去的光線,經(jīng)直角棱鏡后成象在分劃板上的刻度尺象發(fā)生偏移。偏移量的大小與測桿移動距離成比例。光學測微儀的分度值為 1微米,示值范圍為0.1毫米。立式光學計適宜在計量室使用,測量范圍為0~180毫米,常用于檢定量塊和光滑量規(guī)以及測量工件的外徑、厚度。②臥式光學比較儀:又稱臥式光學計,其工作原理與立式光學計相同,測量范圍為0~500毫米,適用于在計量室測量較大的或在立式光學計上不易定位的工件,如圓盤等,也常利用測孔附件測量孔徑。③影屏式光學比較儀:又稱投影光學計,其光學系統(tǒng)與立式光學計相似,但刻度尺影像經(jīng)投影放大透鏡放大后成象于影屏上。分度值有1微米、0.2微米等。分度值為 0.2微米的光學系統(tǒng)采用多次反射以增大光學杠桿的放大比。此外,還有用光波干涉法測量的接觸式干涉比較儀,其分度值為0.05微米、0.1微米和0.2微米。
電學比較儀 常用電感式或電容式測微儀(見長度傳感器)作為放大、指示部件。圖4 [數(shù)字顯示電感式比較儀]是數(shù)字顯示的電感式
比較儀,其分辨率有1微米、0.1微米和0.01微米等幾種。